一种新型薄膜压磁电感式压力传感器的研究
2011/7/5 20:29:00
目前,在压力检测中广泛应用的厚膜压阻式压力传感器, 具有体积小, 精度高, 工作可靠等优点。但不足的是,这种传感器制造工艺复杂,低压检测时非线性误差大,温度稳定性差。
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